Application de l'imagerie de photoluminescence à l'étude de la distribution spatiale de propriétés physico-chimiques de semiconducteurs pour la réalisation de dispositifs
Author | : Marc Buchheit |
Publisher | : |
Total Pages | : 261 |
Release | : 1998 |
ISBN-10 | : OCLC:490476465 |
ISBN-13 | : |
Rating | : 4/5 (65 Downloads) |
Book excerpt: LA RECHERCHE SUR L'OPTIMISATION ET LA BAISSE DU COUT DES TECHNOLOGIES ACTUELLES AINSI QUE LE DEVELOPPEMENT DE NOUVEAUX PROCEDES ET DE NOUVEAUX COMPOSANTS III-V S'ACCELERENT CONSIDERABLEMENT DEPUIS QUELQUES ANNEES. EN CONSEQUENCE, IL APPARAIT UN BESOIN URGENT DE NOUVELLES TECHNIQUES PERMETTANT L'EXPERTISE ET LE CONTROLE DE MATERIAUX ET COMPOSANTS D'UNE MANIERE RAPIDE ET NON-DESTRUCTIVE. CET INTERET EST PARTICULIEREMENT IMPORTANT POUR LES LABORATOIRES DE RECHERCHE MAIS AUSSI POUR LE CONTROLE DE CERTAINES ETAPES LORS DE PROCESSUS INDUSTRIELS. DANS CE CONTEXTE, L'OBJECTIF DE CE TRAVAIL DE THESE EST LE DEVELOPPEMENT DE NOUVELLES METHODES DE DETERMINATION QUANTITATIVE DE GRANDEURS PHYSIQUES A PARTIR DE L'IMAGERIE DE PHOTOLUMINESCENCE RESOLUE EN LONGUEUR D'ONDE A TEMPERATURE AMBIANTE. UN EFFORT PARTICULIER A ETE FOURNI DANS LA FORMULATION THEORIQUE DU SPECTRE DE PHOTOLUMINESCENCE, CE QUI A PERMIS DE DEVELOPPER PLUSIEURS TECHNIQUES D'ANALYSE QUANTITATIVE : _ UNE TECHNIQUE DE CARTOGRAPHIE DE LA COMPOSITION ET DE LA CONTRAINTE DANS LES COUCHES EPITAXIALES III-V QUE NOUS AVONS APPLIQUEE A L'ETUDE DE LA RELAXATION DE COUCHES DANS LE SYSTEME INGAAS/INP. _ UNE TECHNIQUE PERMETTANT LA DETERMINATION DES CONTRAINTES RESIDUELLES DANS LES SUBSTRATS III-V QUI NOUS A PERMIS DE MENER UNE L'ETUDE SUR L'ORIGINE DES CONTRAINTES RESIDUELLES DANS LES PLAQUETTES DE GAAS ET D'INP. _ UNE TECHNIQUE PERMETTANT LA DETERMINATION SPATIALE DE LA COMPOSITION ET DE L'EPAISSEUR DES PUITS QUANTIQUES. NOUS RAPPORTONS UNE ETUDE, EFFECTUEE A L'AIDE DE CETTE TECHNIQUE, SUR LES INHOMOGENEITES SPATIALES DANS DES RUBANS OBTENUS PAR EPITAXIE LOCALISEE POUR LA REALISATION DE CIRCUITS INTEGRES OPTOELECTRONIQUES (OEICS). _ UNE TECHNIQUE DE DETERMINATION DE L'ENERGIE D'ACTIVATION ASSOCIEE AU PROCESSUS D'INTERDIFFUSION DANS LES PUITS QUANTIQUES QUE NOUS AVONS APPLIQUEE A L'ETUDE, DANS LE SYSTEME INGAAS/GAAS, DE PUITS QUANTIQUES DEDIES A LA REALISATION D'OEICS. CES DIFFERENTES TECHNIQUES ONT ETE VALIDEES EN COMPARANT LEURS RESULTATS SOIT AVEC LES CARACTERISTIQUES CONNUES D'ECHANTILLONS DE REFERENCE, SOIT AVEC LES RESULTATS OBTENUS EN UTILISANT D'AUTRES METHODES DE CARACTERISATION. NOUS AVONS MENE LES DIFFERENTES ETUDES QUE NOUS PRESENTONS EN COLLABORATION AVEC LES AUTRES EQUIPES DE NOTRE LABORATOIRE, L'UNIVERSITE TECHNIQUE DE DARMSTADT EN ALLEMAGNE ET L'UNIVERSITE DE MAC MASTER AU CANADA. LES TRAVAUX QUE NOUS AVONS DEVELOPPES DEBOUCHENT SUR DE NOUVELLES METHODES DE CONTROLE ASSOCIEES AU DEVELOPPEMENT DE PROCEDES INNOVANTS ET A LA REALISATION DE NOUVEAUX COMPOSANTS BASES SUR LA TECHNOLOGIE III-V.