Epitaxie par jets moléculaires d'hétérostructures de semiconducteurs II-VI
Author | : Geneviève Lentz |
Publisher | : |
Total Pages | : 179 |
Release | : 1989 |
ISBN-10 | : OCLC:490002445 |
ISBN-13 | : |
Rating | : 4/5 (45 Downloads) |
Book excerpt: NOUS AVONS, AU COURS DE CETTE ETUDE, ETUDIE LA CROISSANCE DES COUCHES MINCES ET DES HETEROSTRUCTURES A BASE DE CDTE, CDZNTE ET CDHGTE, REALISEES PAR EPITAXIE PAR JETS MOLECULAIRES (EJM). L'OBSERVATION DES OSCILLATIONS DE L'INTENSITE DU DIAGRAMME DE DIFFRACTION D'ELECTRONS, PENDANT LE DEPOT DE CES STRUCTURES, NOUS A PERMIS D'OBTENIR DES INFORMATIONS SUR LES DYNAMIQUES DE CROISSANCE POUR LES ORIENTATIONS (001) ET (111) ET DE MESURER AVEC UNE PREECISION D'UNE MONOCOUCHE, L'EPAISSEUR DE CHAQUE COUCHE. NOUS AVONS UTILISE DES TECHNIQUES DE DIFFRACTION X, POUR ETUDIER LA QUALITE DES COUCHES, POUR DETECTER DES DEFAUTS TELS QUE LES MACLES ET LES DISLOCATIONS ET POUR MESURER LEUT ETAT DE DEFORMATION. EN EFFET, DES MESURES DE L'ETAT DE DEFORMATION, FAITES EN DOUBLE DIFFRACTION X SUR DES COUCHES DE CDTE (111) ET (111) DESORIENTES, ONT MONTRE LE ROLE DES MACLES SUR LES MECANISMES DE RELAXATION. DANS CES CONDITIONS, DES COUCHES ORIENTEES (001) ET (111) DE BONNE QUALITE ONT ETE REALISEES: EN PARTICULIER, NOUS AVONS MONTRE QUE DES COUCHES DE CDTE ET DE CD#XHG#1##XTE(X=60 A 80%) SANS MACLE, PEUVENT ETRE REALISEES EN EJM, SUR DES SUBSTRATS CDZNTE (111)B. TOUS CES RESULTATS: CONTROLE DES EPAISSEURS ET OPTIMISATION DES CONDITIONS DE CROISSANCE, ONT PERMIS DE REALISER DES HETEROSTRUCTURES (PUITS QUANTIQUES ET SUPERRESEAUX) CDTE/CDZNTE ET CDTE/CDHGTE PRESENTANT DE TRES BONNES PROPRIETES STRUCTURALES ET OPTIQUES